半导体专用设备制造商_青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

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扩散炉、 PECVD、 LPCVD、 真空炉、 链式炉、 合金炉、 氢气炉、

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青岛赛瑞达电子装备股份有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家,产品有扩散炉、PECVD、LPCVD、真空炉、链式炉、合金炉、氢气炉

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半 导 体 专 用 设 备 制 造 商 _ 青 岛 赛 瑞 达 电 子 装 备 股 份 有 限 公 司 首 页 关 于 我 们 企 业 文 化 公 司 荣 誉 发 展 历 程 组 织 架 构 产 品 展 示 半 导 体 专 用 设 备 纳 米 材 料 专 用 设 备 光 伏 专 用 设 备 招 贤 纳 士 资 讯 中 心 公 司 新 闻 行 业 动 态 领 导 关 怀 在 线 留 言 联 系 我 们 业 务 领 域 产 品 种 类 多 达 两 百 多 个 ， 各 种 专 利 及 著 作 权 近 三 十 多 项 。 半 导 体 专 用 设 备 半 导 体 技 术 专 用 工 艺 设 备 . . . 纳 米 材 料 专 用 设 备 国 内 先 进 的 纳 米 材 料 工 艺 设 备 . . . 光 伏 专 用 设 备 太 阳 能 光 伏 系 列 专 用 设 备 . . . 产 品 展 示 严 格 的 高 技 术 把 关 ， 打 造 世 界 级 质 量 产 品 半 导 体 专 用 设 备 纳 米 材 料 专 用 设 备 光 伏 专 用 设 备 主 要 技 术 指 标 ： 可 配 工 艺 管 外 径 ： 2 8 英 寸 可 配 工 艺 管 数 量 ： 1 4 管 / 台 工 作 温 度 范 围 ： 4 0 0 1 2 8 6 ℃ 恒 温 区 长 度 及 精 度 ： 3 0 0 1 1 0 0 m m 8 0 0 1 2 8 6 ℃ 0 . 5 ℃ 单 点 温 度 稳 定 性 ： 8 0 0 1 2 8 6 ℃ 0 . 5 ℃ / 2 4 h 最 大 可 控 升 温 . . . 8 吋 立 式 扩 散 炉 ■ 主 要 技 术 指 标 ◆ 常 用 工 作 温 度 ： 3 0 0 ~ 1 0 0 0 ℃ ◆ 使 用 温 度 ： 0 ~ 1 2 0 0 ◆ 恒 温 区 精 度 ： 1 ℃ ◆ 恒 温 区 长 度 ： 6 0 0 m m ◆ 升 温 功 率 ： 1 0 K V A ◆ 保 温 功 率 ： 5 K V A ◆ 开 机 重 复 性 ： 1 ℃ ◆ 冷 态 真 空 度 ： 5 1 0 3 P a ◆ . . . 脱 氧 炉 ■ 主 要 技 术 指 标 ◆ 结 构 型 式 ： 立 式 ， （ 可 旋 转 移 动 ） ◆ 适 合 2 ~ 6 晶 体 生 长 工 艺 （ 可 定 制 ） ◆ 炉 体 有 效 加 热 长 度 ： 1 2 0 0 m m ◆ 最 高 工 作 温 度 ： 1 3 0 0 ℃ ◆ 恒 温 区 精 度 （ 静 态 闭 管 ） ： 0 . 5 ℃ ◆ 升 温 . . . H G F 水 平 梯 度 冷 凝 ■ 主 要 技 术 指 标 ◆ 结 构 型 式 ： 立 式 ， （ 可 旋 转 移 动 ） ◆ 适 合 2 ~ 6 晶 体 生 长 工 艺 （ 可 定 制 ） ◆ 炉 体 有 效 加 热 长 度 ： 1 2 0 0 m i n ◆ 最 高 工 作 温 度 ： 1 3 0 0 ℃ ◆ 恒 温 区 精 度 （ 静 态 闭 管 ） ： 0 . 5 ℃ ◆ 升 温 . . . V B 垂 直 布 里 支 曼 ■ 主 要 技 术 指 标 ◆ 结 构 型 式 ： 单 管 水 平 式 ， 加 热 炉 体 可 左 右 移 动 ◆ 适 合 2 ～ 3 晶 体 生 长 工 艺 （ 可 定 制 ） ◆ 炉 体 有 效 加 热 长 度 ： 1 6 0 0 m m ◆ 最 高 工 作 温 度 ： 1 3 0 0 ℃ ◆ 升 温 速 率 （ 室 温 ～ 1 2 6 . . . H B 水 平 布 里 支 曼 L P C V D 是 用 加 热 的 方 式 在 低 压 条 件 下 使 气 态 化 合 物 在 基 片 表 面 反 应 并 淀 积 形 成 稳 定 固 体 薄 膜 。 由 于 工 作 压 力 低 . 气 体 分 子 的 平 均 自 由 程 和 扩 散 系 数 大 ， 故 可 采 用 密 集 装 片 方 式 来 提 高 生 产 率 ， . . . L P C V D / 低 压 化 学 气 相 淀 积 设 备 主 要 特 点 ： 立 式 连 续 制 备 工 艺 管 ： 大 口 径 石 墨 管 碳 纳 米 管 设 备 碳 源 ： 雾 状 喷 洒 ， 单 头 / 多 头 加 热 方 式 ： 立 式 多 层 加 热 器 设 备 不 间 断 长 期 运 行 ， 特 殊 的 省 电 设 计 和 特 点 设 计 立 式 长 工 艺 管 . . . 碳 纳 米 管 制 备 ： 单 工 位 合 成 炉 主 要 参 数 （ 可 按 需 求 定 制 ） 工 艺 管 径 ： 6 0 m m 工 作 温 度 ： 1 0 2 0 1 0 5 0 ℃ 恒 温 区 ： 1 2 0 m m 真 空 ： 3 P a 真 空 恒 压 ： 手 动 / 自 动 碳 源 气 体 ： 甲 烷 C H 4 其 他 气 体 ： 氢 气 、 氮 气 . . . 小 管 径 薄 膜 生 长 C V D （ 实 验 室 设 备 ） 主 要 特 点 ： 石 墨 烯 薄 膜 产 业 化 设 备 宽 幅 卷 对 卷 连 续 生 长 A P C 系 统 ； 真 空 蝶 阀 自 动 控 制 碳 源 等 工 艺 气 体 M F C 控 制 薄 膜 制 备 过 程 全 自 动 控 制 三 腔 室 结 构 主 要 参 数 ： 工 作 温 度 ： 1 0 2 0 1 0 5 0 ℃ 恒 温 . . . 卷 对 卷 薄 膜 连 续 生 长 C V D 主 要 特 点 ： 石 墨 烯 薄 膜 晶 圆 生 长 产 业 化 设 备 A P C 系 统 ； 真 空 蝶 阀 自 动 控 制 碳 源 等 工 艺 气 体 M F C 控 制 快 速 冷 却 功 能 薄 膜 制 备 过 程 全 自 动 控 制 片 舟 方 式 主 要 参 数 （ 可 按 需 求 定 制 ） ： 腔 室 直 . . . 晶 圆 薄 膜 静 态 生 长 立 式 C V D 该 设 备 主 要 用 于 纳 米 材 料 工 艺 涂 层 、 多 晶 硅 、 氮 化 硅 、 扩 散 、 氧 化 、 退 火 等 工 艺 。 ■ 设 备 系 统 简 介 ◆ 结 构 型 式 ： 卧 式 ， 单 管 或 多 管 系 统 自 动 控 制 ◆ 适 应 晶 体 尺 寸 ： 2 8 ◆ 送 取 片 方 式 . . . 纳 米 材 料 C V D 设 备 主 要 特 点 ： 产 能 ： 1 2 0 0 片 / 管 管 数 ： 5 管 系 统 控 制 ： P L C 和 P C 控 制 基 础 通 讯 ： M e l s e c , M E S , I / O , S E C S I I 等 自 动 化 集 成 ： 用 于 客 户 优 化 和 M E S 控 制 集 成 的 全 自 动 化 解 决 方 案 硬 件 规 格 ： 恒 温 区 长 度 ： . . . P 型 退 火 炉 主 要 特 点 ： 产 能 ： 最 大 1 2 0 0 片 / 管 管 数 ： 5 管 压 力 控 制 ： P L C 和 P C 工 控 机 通 讯 ： M e l s e c , M E S , I / O , S E C S I I 等 自 动 化 集 成 ： 用 于 客 户 优 化 和 M E S 控 制 集 成 的 全 自 动 化 解 决 方 案 工 艺 规 范 ： 方 阻 值 ： 5 0 . . . P O C L 3 / L P P O C L 3 扩 散 炉 ◆ 用 工 控 机 对 工 艺 时 间 ， 温 度 ， 气 体 流 量 ， 阀 门 动 作 ， 反 应 室 压 力 实 现 全 自 动 控 制 。 ◆ 采 用 进 口 压 力 控 制 系 统 ， 闭 环 系 统 ， 稳 定 性 高 。 ◆ 采 用 进 口 耐 腐 蚀 不 锈 钢 管 件 、 阀 门 ， 确 保 气 . . . P E C V D 等 离 子 增 强 化 学 气 相 淀 积 设 备 ◆ 闭 管 磷 扩 散 ， 带 有 工 艺 废 气 冷 却 定 向 回 收 装 置 ， 工 艺 废 气 集 中 收 集 从 尾 部 定 向 排 出 ； 工 艺 气 体 ( 三 氯 氧 磷 ) 可 采 用 喷 淋 式 方 式 引 入 到 石 英 管 内 。 闭 管 扩 散 方 式 工 艺 过 程 完 全 不 受 外 界 环 . . . 闭 管 软 着 陆 扩 散 系 统 ( 包 括 常 压 扩 散 低 压 扩 散 ） 资 讯 中 心 即 时 发 布 我 们 最 新 的 科 技 产 品 及 行 业 科 研 成 果 公 司 新 闻 R E A D M O R E 行 业 动 态 R E A D M O R E 领 导 关 怀 2 0 1 8 0 6 2 3 青 岛 市 市 长 孟 凡 利 莅 临 园 区 参 观 指 导 2 0 1 8 0 6 2 3 中 国 工 程 院 院 长 周 济 率 专 家 团 以 及 省 经 信 委 领 导 莅 临 我 公 司 参 观 指 导 工 作 2 0 1 8 0 6 2 3 “ 石 墨 烯 之 父 ” 诺 贝 尔 奖 得 主 安 德 烈 · 海 姆 及 科 技 部 原 党 组 成 员 秘 书 长 石 定 寰 一 行 参 观 调 研 园 区 2 0 1 8 0 6 2 3 国 务 院 副 总 理 马 凯 一 行 视 察 园 区 R E A D M O R E 视 频 展 示 视 频 展 示 您 的 浏 览 器 不 支 持 v i d e o 标 签 关 于 我 们 不 支 持 s q l 标 签 ， 请 【 点 击 参 考 教 程 】 更 多 详 情 > > 招 贤 纳 士 期 待 行 业 精 英 的 加 入 售 后 服 务 工 程 师 人 数 ： 6 人 专 业 ： 机 械 、 电 气 或 自 动 化 学 历 ： 专 科 以 上 ； . . . 软 件 设 计 工 程 师 人 数 ： 3 人 专 业 ： 计 算 机 专 业 学 历 ： 本 科 以 上 ； . . . 电 气 设 计 工 程 师 人 数 ： 4 人 专 业 ： 电 气 自 动 化 、 机 电 一 体 化 （ 电 气 类 ） 学 历 ： 本 科 以 上 ； . . . 机 械 设 计 工 程 师 人 数 ： 4 人 专 业 ： 机 械 设 计 制 造 与 工 艺 、 机 电 一 体 化 （ 机 械 类 ） 学 历 ： 本 科 以 上 ； . . . 您 有 需 求 ？ 即 刻 联 系 我 们 吧 ！ 联 系 我 们 公 司 介 绍 关 于 我 们 联 系 我 们 主 要 产 品 半 导 体 专 用 设 备 纳 米 材 料 专 用 设 备 光 伏 专 用 设 备 科 技 资 讯 公 司 新 闻 行 业 动 态 领 导 关 怀 周 一 至 周 五 0 9 : 0 0 ~ 1 8 : 0 0 C o p y r i g h t © 2 0 1 7 2 0 1 8 赛 瑞 达 智 能 电 子 装 备 （ 无 锡 ） 有 限 公 司 版 权 所 有 苏 I C P 备 2 0 2 2 0 2 5 8 7 3 号 友 情 链 接 三 瑞 （ 青 岛 ） 电 子 科 技 有 限 公 司 首 页 电 话 传 真 联 系

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